?三次元儀器之三次元測(cè)量?jī)x一般區(qū)分為滾珠線(xiàn)性滑軌及氣浮滑軌兩種，滾珠線(xiàn)性滑軌的干涉及變形較大，比較少使用在大型機(jī)臺(tái)；現(xiàn)今的主流為氣浮滑軌，其原理為壓縮空氣在空氣軸承與軌道間形成一個(gè)幾微米 ( um ) 低摩擦力及低阻力的空氣層，也就是說(shuō)空氣軸承會(huì)浮在軌道上，這時(shí)便可輕易移動(dòng)。
傳動(dòng)方式分手動(dòng)、馬達(dá)傳動(dòng)兩種。一般有三種機(jī)型區(qū)分：
1. 手動(dòng)量測(cè)　直接拉著Z軸或人工旋轉(zhuǎn)手輪來(lái)移動(dòng)。
2. 電控量測(cè)　移動(dòng)軸安裝馬達(dá)，利用搖桿或電子手輪來(lái)控制移動(dòng)。
3. CNC ( DCC) 自動(dòng)量測(cè)　移動(dòng)軸均安裝伺服馬達(dá)，并利用電控系統(tǒng)，在程式指令下可自動(dòng)量測(cè)。