三次元檢測(cè)的原理是將被測(cè)物體置于三坐標(biāo)測(cè)量空間，可獲得被測(cè)物體上各測(cè)點(diǎn)的坐標(biāo)位置，根據(jù)這些點(diǎn)的空間坐標(biāo)值，經(jīng)計(jì)算求出被測(cè)物體的幾何尺寸，形狀和位置。它可以測(cè)量被測(cè)物的同心度，平行度，平面度，同軸度，位置度，垂直度等幾何形位公差。

直線(xiàn)度：直線(xiàn)度是表示零件上的直線(xiàn)要素實(shí)際形狀保持理想直線(xiàn)的狀況。也就是通常所說(shuō)的平直程度。直線(xiàn)度公差是實(shí)際線(xiàn)對(duì)理想直線(xiàn)所允許的變動(dòng)量。也就是在圖樣上所給定的，用以限制實(shí)際線(xiàn)加工誤差所允許的變動(dòng)范圍。

平面度：平面度是表示零件的平面要素實(shí)際形狀，保持理想平面的狀況。也就是通常所說(shuō)的平整程度。平面度公差是實(shí)際表面對(duì)平面所允許的變動(dòng)量。也就是在圖樣上給定的，用以限制實(shí)際表面加工誤差所允許的變動(dòng)范圍。

圓度：圓度是表示零件上圓的要素實(shí)際形狀，與其中心保持等距的情況。即通常所說(shuō)的圓整程度。圓度公差是在同一截面上，實(shí)際圓對(duì)理想圓所允許的變動(dòng)量。也就是圖樣上給定的，用以限制實(shí)際圓的加工誤差所允許的變動(dòng)范圍。

圓柱度：圓柱度是表示零件上圓柱面外形輪廓上的各點(diǎn)，對(duì)其軸線(xiàn)保持等距狀況。圓柱度公差是實(shí)際圓柱面對(duì)理想圓柱面所允許的變動(dòng)量。也就是圖樣上給定的，用以限制實(shí)際圓柱面加工誤差所允許的變動(dòng)范圍。

線(xiàn)輪廓度：線(xiàn)輪廓度是表示在零件的給定平面上，任意形狀的曲線(xiàn)，保持其理想形狀的狀況。線(xiàn)輪廓度公差是指非圓曲線(xiàn)的實(shí)際輪廓線(xiàn)的允許變動(dòng)量。也就是圖樣上給定的，用以限制實(shí)際曲線(xiàn)加工誤差所允許的變動(dòng)范圍。
面輪廓度：面輪廓度是表示零件上的任意形狀的曲面，保持其理想形狀的狀況。面輪廓度公差是指非圓曲面的實(shí)際輪廓線(xiàn)，對(duì)理想輪廓面的允許變動(dòng)量。也就是圖樣上給定的，用以限制實(shí)際曲面加工誤差的變動(dòng)范圍。

平行度：平行度是表示零件上被測(cè)實(shí)際要素相對(duì)于基準(zhǔn)保持等距離的狀況。也就是通常所說(shuō)的保持平行的程度。平行度公差是：被測(cè)要素的實(shí)際方向，與基準(zhǔn)相平行的理想方向之間所允許的變動(dòng)量。也就是圖樣上所給出的，用以限制被測(cè)實(shí)際要素偏離平行方向所允許的變動(dòng)范圍。

垂直度：垂直度是表示零件上被測(cè)要素相對(duì)于基準(zhǔn)要素，保持正確的90°夾角狀況。也就是通常所說(shuō)的兩要素之間保持正交的程度。垂直度公差是：被測(cè)要素的實(shí)際方向，對(duì)于基準(zhǔn)相垂直的理想方向之間，所允許的變動(dòng)量。也就是圖樣上給出的，用以限制被測(cè)實(shí)際要素偏離垂直方向，所允許的變動(dòng)范圍。

傾斜度：傾斜度是表示零件上兩要素相對(duì)方向保持任意給定角度的正確狀況。傾斜度公差是：被測(cè)要素的實(shí)際方向，對(duì)于基準(zhǔn)成任意給定角度的理想方向之間所允許的變動(dòng)量。

對(duì)稱(chēng)度：是表示零件上兩對(duì)稱(chēng)中心要素保持在同一中心平面內(nèi)的狀態(tài)。對(duì)稱(chēng)度公差是：實(shí)際要素的對(duì)稱(chēng)中心面(或中心線(xiàn)、軸線(xiàn))對(duì)理想對(duì)稱(chēng)平面所允許的變動(dòng)量。該理想對(duì)稱(chēng)平面是指與基準(zhǔn)對(duì)稱(chēng)平面(或中心線(xiàn)、軸線(xiàn))共同的理想平面。

同軸度：同軸度是表示零件上被測(cè)軸線(xiàn)相對(duì)于基準(zhǔn)軸線(xiàn)，保持在同一直線(xiàn)上的狀況。也就是通常所說(shuō)的共軸程度。同軸度公差是：被測(cè)實(shí)際軸線(xiàn)相對(duì)于基準(zhǔn)軸線(xiàn)所允許的變動(dòng)量。也就是圖樣上給出的，用以限制被測(cè)實(shí)際軸線(xiàn)偏離由基準(zhǔn)軸線(xiàn)所確定的理想位置所允許的變動(dòng)范圍。